為什么半導體車間都會安裝廢氣處理設備,因為半導體制造過程中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性等特性,尤其是在晶圓廠制造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機廢氣等,在排放到大氣之前通過廢氣處理設備去除這些氣體。這需要在大多數半導體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣流的設備。因此我們鑫藍提出安全可靠的廢氣處理裝置以及RTO蓄熱式焚燒設備,能夠對這些氣體進行有效處理。
半導體車間廢氣處理設備選擇標準:
(1)半導體生產車間廢氣處理設備的選擇是根據待消除氣體的種類、濃度、流量和壓力,減排設備的處理能力,綜合考慮農藥的壽命、前后與設備的關系等多種情況,挑選合適的處理方法和設備。
(2)半導體生產車間廢氣處理設備在混合時將會爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應該是一個獨立的系統。
(3)可能有自燃性氣體或可燃氣體流動的排風管道采用不燃材料。
(4)不可以讓半導體生產車間廢氣處理設備規格中規定的廢氣以外的廢氣流動,或準許大量廢氣流動超出廢氣處理設備的處理水平。
鑫藍環保作為一家廢氣處理設備一站式解決服務商,依托工程大學環保技術支持,擁有設備制造廠和熟練安裝隊伍;客戶超過上千家,涵蓋大型焊煙打磨行業、橡膠行業、涂料油墨行業、家居建材行業、PCB電子行業、汽車行業、家電行業、化工行業、新能源鋰電池行業、航空航天新材料行業和醫療行業等領域;先后獲得了江蘇省環境污染乙級設計資質、江蘇省環境污染乙級治理資質、質量管理體系認證、職業健康安全管理體系認證、江蘇省優秀科技企業、蘇州市市級守合同重信用企業等榮譽稱號。
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