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新材料半導(dǎo)體廢氣處理用什么工藝好呢

文章出處：鑫藍(lán)環(huán)保鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時(shí)間：2023-03-08 00:00:00【大中小】

隨著發(fā)展，目前市場(chǎng)上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，其應(yīng)用范圍更廣了，新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開(kāi)發(fā)成本高，產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場(chǎng)性強(qiáng)，而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過(guò)程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑，這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分，在整個(gè)工藝加工的過(guò)程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放，這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs，下面鑫藍(lán)環(huán)保科技（昆山）有限公司講解一下關(guān)于：新材料半導(dǎo)體廢氣處理。

新材料半導(dǎo)體行業(yè)廢氣除了含有VOCs以外，還混有HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物，鑫藍(lán)環(huán)保科技（昆山）有限公司采用的是RTO焚燒爐來(lái)處理新材料半導(dǎo)體廢氣：工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有D氣體四種，自身具有的溶解特性，半導(dǎo)體工業(yè)的氣體雖然排放量大，但是氣體的濃度低。

RTO設(shè)備采用的是高溫焚燒的廢氣治理技術(shù)，升溫能源一般是電和天然氣，其高溫需高達(dá)700度或者以上，雖然溫度需高達(dá)700度左右，但是其實(shí)消耗的能源并不多，設(shè)備運(yùn)行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的，降低能量消耗的同時(shí)提高了廢氣分子的燃燒反應(yīng)速率。

鑫藍(lán)環(huán)保科技（昆山）有限公司，專注于大型工廠廢氣處理、粉塵處理，是一家集廢氣粉塵處理系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造與銷售為一體的生產(chǎn)廠家。主營(yíng)產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒、RCO催化燃燒、有機(jī)廢氣處理設(shè)備、防爆除塵器、酸堿廢氣處理設(shè)備、脈沖濾筒除塵器、脈沖布袋除塵器、單機(jī)除塵器、倉(cāng)頂除塵器、旋風(fēng)除塵器、噴淋塔、活性炭吸附箱、靜電除油設(shè)備等等。